HS03-2
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Enduraz HS03 增强耐腐蚀性能

特性与优势

• 较强的氧等粒子体耐受性

• 较低的颗粒生成量

• 高耐磨性

• 优异的机械和密封性能

 

应用领域

• 腔体密封

• 阀门密封

• 管路密封

• 法兰密封

• 一体成型阀板

 

工艺应用

• 干法刻蚀

• 化学气相沉积

• 氧化/扩散

• 去胶工艺

• 其他等离子清洁工艺

 

性能参数

  典型值
材质 Enduraz HS03                
颜色 紫色
硬度, Shore A                                                               82
比重 2.04
抗拉强度, Mpa 15.2
延展性, % 150
压缩形变: 204℃，70h 28
工作温度 300℃
ꄴ前一个： Enduraz TS02 升级版超洁净全氟材质
ꄲ后一个： Enduraz XM02 耐高温|良好的耐腐蚀能力|优越的机械性能

产品中心

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PRODUCT

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Enduraz HS03是专为高强度等离子刻蚀环境开发的新一代全氟橡胶材质。它具备增强的抗等离子体性能，较低的颗粒生成量，从而大大提高晶圆良率。
Enduraz HS03具备优越的机械性能，可应用于静态和动态晶圆加工应用环境。
Enduraz HS03可在高达 280°C 的工作温度下使用，短时工作温度甚至可达 300°C。