Enduraz HS04 优异的氧离子耐受性能
特性与优势
• 优异的耐腐蚀能力
• 高洁净度
• 优异的机械和密封性能
应用领域
• 腔体密封
• 阀门密封
• 管路密封
• 法兰密封
工艺应用
• 干法刻蚀
• 化学气相沉积
• 去胶工艺
性能参数
典型值 | ||
材质 | Enduraz HS04 | |
颜色 | 灰色 | |
硬度, Shore A | 70 | |
比重 | 2.00 | |
抗拉强度, Mpa | 11.4 | |
延展性, % | 163 | |
压缩形变: 204℃,70h | 21 | |
工作温度 | 300℃ |
高强度氧离子被大量应用于CVD、ETCH的苛刻工艺,使腔体对耐腐蚀性全氟橡胶材料的要求越来越高。
Enduraz HS04作为新一代全氟橡胶材质具备较强的耐氧能力,而且其严格的材料选择和制造过程保证了材料高洁净度,从而满足先进制程的要求。
Enduraz HS04的工作温度可达 300°C,并具备优越的机械性能,可应用于静态和动态晶圆加工应用环境,如门阀、腔体以及管路密封等。
Enduraz HS04作为新一代全氟橡胶材质具备较强的耐氧能力,而且其严格的材料选择和制造过程保证了材料高洁净度,从而满足先进制程的要求。
Enduraz HS04的工作温度可达 300°C,并具备优越的机械性能,可应用于静态和动态晶圆加工应用环境,如门阀、腔体以及管路密封等。